由于芯片短缺问题和近2年海运拥堵和成本上升等因素,致使全球资本对于芯片制造工厂的投入增大,而中兴、华为的例子已经凸显出国产半导体供应链的重要性,除去地缘政治上的意义,发展半导体其实是中国经济的转型的必走之路。
半导体生产是一种高度复杂的工艺,涉及数百个工序,由于尺寸特殊且非常精密,几乎无法手动生产集成电路,此外,生产对纯度、洁净度和功能性提出了严格要求,因此,半导体工厂需要高度自动化、智能互联、模块化且灵活的生产理念。作为物联网基础平台的研发企业,蓄腾一直在探索RFID与半导体结合的可行性,希望为国内半导体事业的发展贡献自己的微薄之力。为此蓄腾开发了适用于管理半导体晶圆的RFID基础平台,给国产半导体企业提供了稳定可靠、性价比高的RFID数据采集方案,让RFID技术对晶圆进行辅助制造,即使无人看守,晶圆的制造也能时刻运转不停。

传统半导体生产痛点:
1、传统的半导体生产多为工序外协,加工环节多,导致难以及时掌握生产进度和状态、管理难度大,难以保证产品质量。
2、生产销售过程中,存在数量不确定、料号不确定;计量单位不确定现象,导致管理复杂度直线上升。
3、生产流程不够规范,导致研发的计划、进度、人员、材料等相差较大。
针对这些问题蓄腾在每一个FOUP盒子上植入RFID标签,RFID标签内录入了晶圆的信息,且RFID标签内具有唯一的ID编码。在制造设备处、传送带处安装RFID基础采集平台用于获取RFID标签的信息。
不同制造设备处的RFID识读器用于识别RFID标签,了解该标签目前的完成进度,查看不同RFID标签内录入的相应工作流程与控制系统处进行核对检验,确认并进行下一步的加工流程。

具体在在半导体中实现了如下应用:
方案一:RFID在半导体车间AGV搬运机器人的应用
在半导体车间实现无人化运输管理,采用AGV小车进行物料运输,将RFID读写器安装在AGV小车底部,在运输轨道节点部署RFID载码体,当AGV小车经过轨道节点时,读写器自动采集载码体信息,实时掌握物料的运输情况及其往哪个生产工序运输。
方案二:RFID半导体产线的应用
将RFID读写器部署在机械手臂,晶圆盒部署RFID载码体,当机械手臂开始工作时,读写器自动采集载码体信息,及时了解是什么产品、如何加工、何时加工,并跟踪晶圆在加工流程中的具体位置,可显著减少晶圆的供应时间,并充分减少该工序的工作量,仓储管理系统将RFID的信息与生产控制系统 (MES) 的信息关联在一起,可实时监测所有晶圆。
方案三:RFID在半导体晶元储存柜的应用
将RFID读取器部署在储存柜承载平台支撑板下方,将RFID载码体安装至晶圆盒,当晶圆进入储存柜时,RFID读取器识别RFID载码体来监测拾放物料期间晶圆的储存位置。因此,必要时可立即找到所有储存的晶圆。